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射頻磁控濺射鍍膜裝置

射頻磁控濺射鍍膜裝置

簡要描述:射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號:RT-RM-1

主要用途:本設備主要用于大專院校研究和開發納米級單層膜;如各種硬質膜、金屬膜;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料。

產品型號: RT-RM-1

所屬分類:專業儀器

更新時間:2024-09-22

廠商性質:其他

詳情介紹
品牌同德

射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號:RT-RM-1

 

主要用途:本設備主要用于大專院校研究和開發納米級單層膜;如各種硬質膜、金屬膜;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料。可以進行直接濺射,亦可以實現反應濺射。

射頻磁控濺射鍍膜裝置

主要特點:結構簡捷、操作簡便,真空度維護高,安全可靠。

 

 

鍍膜機應安裝在干凈無塵埃、無腐蝕性氣體的室內,并具備清潔水源、及220V的穩定電壓等條件的地方。

1、地面的基本水平度要經過調整,不得高低不平;

2、環境溫度:10℃~30℃;

3、相對濕度:不大于75%;

4、耗水量(進水溫度≤25℃,2.5Kg≥水壓≥1.5Kg):約0.2T/h;

5、水質要求:

矽酸硬度<6度,PH值:78,電導率:200us/cm,沉積率:<200mg/L。

6、電壓: 220V,50HZ

電壓波動范圍: 198~231V;

頻率波動范圍:49~51Hz;

7、水壓:0.31Kg/cm20.03~0.1MPa/cm2;

8、充入氣體純度99.9%或以上;

9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。

 

設備規格參數

1.1、濺射處理室:

       1、鐘罩:內徑225mm×高度260mm;

       2、試樣臺:直徑80mm(zui大);

       3、試樣旋轉:靜止;

       4、擋板:手動;

       5、襯底加熱器:不銹鋼加熱器(DC24V);

       6、襯底溫度范圍:室溫~200℃;

       7、襯底可調距離:20mm~60mm;

       8、濺射室限真空:0.5Pa

1.2、真空系統:

       1、抽氣系統:由機械泵組成的一級真空系統;抽氣速率:4升/S

       2、真空檢測:電阻真空計、電阻規;

       3、常用真空度:1~20Pa

       4、操作:手動

1.3、濺射電源:

1、射頻電源:頻率13.560MHZ,功率:500W,用表指示;

2、阻抗匹配器范圍:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω; 

3、供電:AC 220V;

4、冷卻方式:風冷;

  1.4、 磁控靶:

1、靶材直徑:Ф50mm、 一個永磁靶;

2、靶材厚度:3~6mm;

1.5、進氣系統:2路轉子流量計進氣,

1.6、電源要求:AC 220V  50Hz  10A

1.7、氣體要求:氬氣--純度99.9%(樣品有特殊要求時使用高純)

1.8、冷卻要求:靶體水冷,濺射電源風冷

1.9、體積重量:體積:L550mm×W680mm×H1480mm;約120kg

產品名稱:標準應變模擬儀
產品型號:LK2306

標準應變模擬儀 型號LK2306
標準應變模擬儀 
特點:六個盤共六十個擋, 
LK2306型標準應變模擬儀就是用來完成靜態電阻應變儀的讀數誤差和靈敏度系數誤差;動態應變儀的靈敏度系數誤差、標定誤差、振幅特性誤差、衰減誤差等項校驗功能。 
技術指標 
1.測量范圍:0.1~100000με(六盤) 
2.靈敏度系數:K=2.00 
3.基本誤差: 
     DC:±0.05%±0.1με; 
     <5k:±0.05%±0.2με; 
     5k~10k:±0.1%±0.5με 
4.工作頻率:0~10kHz 
5.zui大工作電壓:10V 
6.橋臂不對稱性:≤50με  
7.橋臂電阻:R=120Ω

 

 

 

 

 

產品名稱:臺式數字特斯拉計
產品型號: HT-118

臺式數字特斯拉計型號: HT-118

臺式數字特斯拉計結合北京同德公司近年對磁性產品的經驗和研究成果研制出的一種實用的臺式數字高斯計。此款高斯計人性化設計,操作簡單方便,精度達到0.5%,并可以通過信號輸出端口與計算機連接,以達到測量數據的存儲和分析。 
  
量程范圍:0-5.000mT、0.00-300.00mT、0.0mT-3000.0mT 
基本誤差:±0.5% 讀數 
分辨率:0.001m T 、0.01mT、0.1 mT 
被測磁場:DC-200Hz 
功能說明:大值/小值保持、分選功能、多重單位顯示mT、Gs、Oe、kA/m 
環境溫度:5℃-40℃   
相對濕度:20%-80%(無凝露) 
供電電源:AC220V 50Hz 
外型尺寸:260mm × 300mm × 100mm 
儀器重量:2.8Kg 
顯示方式:字符型背光顯示屏,5位數字 
顯示單位:mT、Gs、Oe、kA/m 
備    注:1mT=10Gs 
 

 

 

 



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